使用超声波清洗的有效范围
目前,国外市场上已有商用的兆赫超声波清洗设备。美国Verteq、Imtec、ProSys公司已开发出这类设备用于半导体生产线上,在对100—300mm硅片的清洗中,可除去硅片表面上小到0.15μm的微小颗粒,而且可加快漂洗过程并有效地阻止粒子在硅片表面上重新附着。兆赫超声波清洗是国外许多大规模集成电路制造厂家生产过程中不可缺少的标准设备。






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清洗行动是由该单位的超声波发生器,眼镜清洗机维修,这是连接到粘贴在清洗槽底部的超声波传感器。当本机上的传感器把创造数以十万计的微小气泡在清洗液中。这些破灭时,他们在接触部位被清理,包括微小的裂缝和盲孔不可能达到手工擦洗。

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