管材性能比较，选择管材的依据主要是管道的溶出物（见表1）及内表面光洁度。主要应用的管道有Clean-PVC管、洁净PP管、PVDF管几种。Clean-PVC管采用耐冲击硬质聚制造，其比普通PVC管含有较少的添加剂。从而减小了管道内壁的粗糙度（Clean-PVC管的表面粗糙度小于0.37 ?m，而普通PVC管的表面粗糙度在1.0 ?m）以及污染物的析出。
Clean-PVC管从80年代即应用于半导体行业，现在在纯水中得到了广泛的应用。其优点在于由于得到了广泛的应用，故而供应商都有一定量的库存，所以交货周期较短，安装技术也比较简单，通常进行半天的教室和现场培训即可。其缺点在于，管道的粘结和安装的质量。这也是众多的半导体厂中有大量的PVC管道系统失效和漏水问题的原因。
由于PP是热熔焊接的，所以没有PVC那样担心的沾污，如粘接溶剂和其他等在PVC管道中经常使用的稳定剂。而这些粘接剂及会产生有机物沾污（TOC）。另外，PP管道的红外热熔焊接采用计算机控制避免了人工操作的质量参差不齐，并能对焊点进行100%的检查。这使得PP管道相对于Clean-PVC在安装质量上更有保证。但是PP管道在管路/管件的价格及安装费用上要高于Clean-PVC。
