真空镀膜设备真空泵的选择
1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
什么是真空镀膜设备的虚漏及漏孔？
一、虚漏：
虚漏是由于设计或制造加工工艺不当，在真空镀膜设备内形成贮存气源的洞穴，这些气体在真空环境下慢慢释放出来，形同漏气，简称虚漏。
例如，真空镀膜设备内的紧固螺钉没有出气孔，焊缝交叉设计，焊接不完善留有孔穴等都会造成虚漏现象。
二、漏孔：
漏孔是真空镀膜设备内的电真空器件中直径微米数量级的小漏孔，空气中的尘埃或液体都很容易造成漏孔的堵塞，这些就算你当时修理好了也是暂时性的，检漏时好像不漏，但经过抽气之后，又会出现漏气。
所以为了检查，一定要仔细处理好检漏部位，尽量不用手去摸被检测区域，避免尘埃或油脂堵塞漏孔。
真空镀膜机是如何操作真空电阻式蒸发镀膜机的
随着真空镀膜机的工艺发展不断革新，而硬质薄膜的设计向着多元化、多层膜的方向发展。成为现代企业优选的镀膜工艺。今天我们通过中国真空协会的***剖析后，给予详细作答。其实镀膜机的正常操作方法应该参考操作手册的指示操作。
不过大致的操作程序，我们简单的说一下吧：
1、检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在;关位置。
2、打开总电源开关，真空镀膜设备送电。
3、低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
4、安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
5、落下钟罩。
6、启动真空镀膜设备抽真空机械泵。
7、开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。
8、多弧离子镀膜机当低真空表amp;ldquo;2amp;rdquo;内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。
9、真空镀膜设备开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
10、低压阀拉出。立式单开门镀膜机重复一次⑦动作程序：左下旋钮;转至指向2区段测量位置。低真空表;内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀。