极限真空概念
“极限真空”完整名称是“极限真空度”，是指微型真空泵能达到的真空度。
“极限真空”，表示该状态下，没有任何物质（包括分子、原子等）存在，这只是理论上才存在的状态，实际是不可能达到的。
比如，某台抽气能力很弱的微型真空泵，它经过无限长的时间也只能把密闭容器内的气体压力由常态的100KPa降到95KPa，那么95KPa就是这台泵的极限真空度，比如成都公司生产的P***50.2。再比如，有一台抽气能力很强的微型真空泵，它可以把气压由100KPa降到10 KPa，那么10KPa就是这台泵的极限真空度，比如成都公司生产的VCH1028。对下面一台新的2X-30型旋片式油封机械真空泵的修理经验就可借鉴。
真空泵故障检测方法
真空泵起动艰苦
(1)真空泵已返油，用手扳动皮带轮旋转数周，便可起动，
(2)因为历久不运转或停机后未放入大气，使真空泵腔内充斥真空泵油。用手扳动皮带轮旋转数周，便可起动，
(3)油温太低，应给油加温或让室内温度坚持在15度以上，也能够用手扳动皮带轮旋转数周，再继续通电运转数分钟，便可失常事情
(4)油已蜕变，应调换新的真空泵油，
(5)电源缺相，应检验电源。
⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
