从产品的优越性上来看，真空机组的使用已经存在很多年，而且其应用情况已经成为了很有发展潜力的产品之一，随着各行业类型的不断兴起，不管是在生产能力扩大，还是企业开创的新型生产结构，对于机组的使用都有较高的评价，此产品所带来的***率的生产机制，是其他真空产品所无法达到的，而这一特性也充分肯定了机组的实用性。
真空的击穿电压与间隙距离有着比较明确的关系。试验表明，当间隙距离较小时（≤5mm），击穿电压随着间隙距离的增加而线性增长，但随着间隙距离的进一步增加，击穿电压的增长减缓，即真空间隙发生击穿的电场强度随着间隙距离的增加而减小。当间隙达到一定的长度后（≥20mm），单靠增加间隙距离提高耐压水平已经十分困难，这时采用多断口反而比单断口有利。
一般认为短间隙下的电1击穿主要是场致发射引起的，而长间隙下的的电1击穿则主要是微粒效应所致。
常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。伴随真空泵不断向高转速度发展，滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此，要求真空泵油具有良好的热氧化稳定性。
