高温束源炉技术特征
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高温束源炉，包括机架，其特征在于，包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆，本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件，底座的上方设置有保护罩，保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝，坩埚上设置有所述加热丝，坩埚的外侧设置有屏蔽层，底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件，冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通，电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。
水冷电极简介
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性能特点
一、电极（又叫电缆头）是无触点、无焊点、无焊缝，用整根铜棒在数控车床、铣床上加工而成，美观、耐用、电阻小；
二、外套管，选用优质胶管，耐水压gt;0.8MPA、耐击穿电压高于4000V。另有阻燃外套管，供用户在特殊场合选用；
三、电极与外套管的连接，选用1Cr18Ni9Ti材质的不锈钢卡子紧固，无磁性，不生锈；
四、铜导线是用细柒包线在专用绕线机上分层绕制而成。柔软、弯曲半径小；
五、使用柒包线做水冷电缆，电能传输效率高。因每根柒包线之间绝缘，传导中、高频电流，无表面集肤效应，与其它同截面水冷电缆相比，通过相同的电流时，发热量少；
六、用镀锡铜绞线或漆包线做水冷电缆的导线，可以提高水冷电缆的使用寿命。因水冷电缆的导线长期浸泡在水中，工作环境十分恶劣。以前我们用铜裸线做水冷电缆，当水冷电缆使用一段时间后，打开电缆外套，就会看到导线表面有一层绿色铜锈。后来我们改用镀锡铜绞线或漆包线做水冷电缆，因镀锡铜绞线或漆包线有锡或柒膜保护层，它能起到防腐作用。具用户反映，我们用镀锡铜绞线或漆包线做导线制造的水冷电缆，其使用寿命是铜裸线的1.5～2倍。
靶材的应用领域
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1 :微电子领域
2 :平面显示器用靶材
3 :存储技术用靶材
溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀等行业。
