单向流洁净室净化工程原理：
单向流洁净室一般有两种类型，即水平流和垂直流。在水平流系统中，气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中，气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况：气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的)，并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的高1效过滤器向室内送风。气流有如一个空气活塞，向下流经室内，带走污染物，然后从地面排出。又在与外部的一些新鲜空气混合后，再循环至高1效过滤器。人员和工艺所产生的悬浮污染可立即被这种空气清除掉，而紊流通风系统采用的是混合与稀释原理。在一间没有任何障碍物的空房间，单向流用比前面提到的低得多的风速，就可以很快将污染物清除。但在一个操作间，机器以及机器周围走动的人员，会对气流形成障碍。障碍物可以使单向流变成紊流，从而在障碍物周围形成气流团。人员的活动也可以使单向流变成紊流。若加湿器设在空调器的风机段内，还应采取措施避免凝结水滴到电机上，造成电机短路断电。在这些紊流中，由于风速较低，空气稀释程度较小，从而使得污染浓度较高。因此，必须将风速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的范围里，以便使中断的单向流能快速***，充分稀释障碍物周围紊流区的污染。用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍(10到100倍)。
光学微电子净化工程解决方案:
1、组合式空气处理机组 冷水机组 高1效送风口
缺点：
A.需要有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另需要有放置组合式空气处理机组的空调机房，如25000m3/h的组合式空气处理机组，常用外形尺寸为6450×1850×2250mm左右。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个20-30┫的机房的;B.造价高。在更衣室与车间之间，进入更衣间门口，更衣间里贴着换工作服的示意图。特点：A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担;
B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
净化工程对装修要求
所有建筑构配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件，应与主体结构相连，不应与设备支架如传送带吊杆、风管吊杆和管线支架相连接。不同材料相接处采用弹性材料密封时，应预留适当的宽度和深度的槽口或缝隙。管线隐蔽工程应在管线施工完成并进行试压验收后进行，工程的检修口周边应粘贴气密性密封垫。空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器。
无尘室地面垫层下应铺设0.4-0.6MM厚的防水薄膜做防潮层，结构处搭接50MM，用胶带贴牢;建筑装饰及门窗的缝隙应在正压面密封;踢脚板部分施工时应与墙面平齐或略缩进2-3MM。改建工程在隔墙拆移、打洞、管线穿墙和穿楼板等施工后，应修补牢固，表面应进行装饰，防止积尘掉灰。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
