真空镀膜-丹东真空-诺思【好品质】

沈阳诺思真空技术有限公司（原沈阳天成真空技术有限责任公司）成立于2012年，是以超高真空技术为基础、从事各种真空应用设备研发、生产和销售为一体的技术型企业。

企业生产现场管理工作没有强调现场意识和作业标准化，真空系统集成，完全依靠现场管理人员的管理能力与责任心，至使生产现场产生管理不到位、员工工作不积极、生产流程标准不统一、物流信息不准确等诸多问题。

真空系统包括机械泵、低温泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、以及检测真空度的真空计。

相比较原来常用的机械油泵，可以杜绝油泵中的油气进入真空室，真空储存，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。通常在干泵抽到6.5Pa以下后，再打开闸板阀，用低温泵抽高真空，低温泵的特点是抽速大，真空镀膜，尤其是除水蒸汽的能力非常强。

溅射镀膜系统由直流电源、靶材、冷却水、永磁铁、基片加热装置、挡板、屏蔽层等组成。这是磁控溅射台的核心部分。

基片加热装置能除掉基片上的水蒸气等杂质，可以提高薄膜与基片的附着力，另外对于某些金属，合适的温度能提高薄膜的质量。

吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力，丹东真空，用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时，水的蒸气压已低于10-8帕。