除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原材料及设备进出也必须经过洁净程序，方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行，但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10，000级房间，工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服，所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，工厂无尘室设备移位公司推荐，并加入3～5%浓度的IPA或***，以增强去污能力，由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免***地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。
个人物品，例如烟、钱包、纸巾和纸制品，都要存放在办公桌或者储物柜里，不能把它们带进洁净室。除非得到管理人员的特别许可，否则，在洁净室里，衣服口袋只能是空的。苏州卓宇泰公司要求在进入洁净室之前，首先要把眼镜和护目镜上所有看得见的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空气和唾液都可能会污染产品。一次性鞋套每天更换一到两次。
无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素，一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可***此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以***适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
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