真空PVD镀膜基本步骤
1、前处理工艺：褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。
2、镀膜工艺：抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。
3、后处理工艺：清洗：确保镀膜前产品表面的清洁，越新鲜的表面，越能保证镀膜质量。抽真空：将真空室内的残余气体抽走。加热烘烤：炉体和工件同时加热，加速残余气体的释放。压升率测试：测试炉体的漏气率和放气率。轰击清洗：去除工件表面的杂志，露出新鲜表面。镀膜：沉积膜层。冷却：避免工件氧化变色。
真空镀膜机设计安全
安全保护系统对任何仪器设备都是很重要的。为保证整机设备和人身安全，对于用户来说，我们设计分配了2级的安全级别，即管理者和操作者。管理者可以修改工艺和参数，而操作者只能执行程序，查阅程序参数。
不论是工作在自动工作方式，还是手动维护方式，输出量的互锁保护都是非常重要的。为防止误操作，我们设计了互锁电路和程序互锁的2级互锁。条件不充分按错键时，系统给予提示不执行错误命令。系统中还增添了某些重要参数的安全区域报警或警告。通过红黄绿三色警示灯和讯响器的控制动作，分别实现各种情况的警示。如工艺过程中工艺气体充气流量稍低于设定流量时，给予黄灯讯响警告仍然继续工作，压力***后流量转为正常，绿色指示灯亮。但当流量低于设定的下限时，红灯点亮报警，停止工艺进程
镀膜机通过用户的使用和生产，证明整个程序化自动控制系统满足了用户的使用要求。
控制系统界面清晰友善、编程简单、操作方便、数据查阅迅速、系统稳定可靠、工艺重复性好，光学减反射膜层的透射率等性能指标完全符合航天高性能GaAs太阳电池的要求，并为今后提高GaAs太阳电池的减反射膜层性能提供了良好的平台。
尽管如此，电子束蒸发镀膜机的发展在国内已有几十年，技术虽不断提高，但比较国外***技术还有一定差距。本文对电子束蒸发镀膜机所应用的控制技术国际上虽然不是很新的技术，但此方面控制系统的应用，在国内生产的真空应用设备上还很少，且要能长期工作稳定可靠，还有很大的发展空间，这是和国内真空行业在真空应用设备上的整体发展水平相关的。
真空镀膜机是如何操作真空电阻式蒸发镀膜机的
随着真空镀膜机的工艺发展不断革新，而硬质薄膜的设计向着多元化、多层膜的方向发展。成为现代企业优选的镀膜工艺。今天我们通过中国真空协会的***剖析后，给予详细作答。其实镀膜机的正常操作方法应该参考操作手册的指示操作。
不过大致的操作程序，我们简单的说一下吧：
1、检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在;关位置。
2、打开总电源开关，真空镀膜设备送电。
3、低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
4、安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
5、落下钟罩。
6、启动真空镀膜设备抽真空机械泵。
7、开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。
8、多弧离子镀膜机当低真空表amp;ldquo;2amp;rdquo;内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。
9、真空镀膜设备开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
10、低压阀拉出。立式单开门镀膜机重复一次⑦动作程序：左下旋钮;转至指向2区段测量位置。低真空表;内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀。
