催化燃烧与直接燃烧净化法一样，均属于热力***法，其机理都是氧化和热裂解、热分解废气中的有机成分，分解为二氧化碳和水。
但对处理高浓度的有机废气，通常认为催化分解是较为理想的方法。其原因是催化燃烧的温度要比热焚烧的温度低得多，而且效率高、能耗低、压降小、所需设备体积小，避免产生氮氧化物。
催化燃烧是使用不同种类的催化剂，利用其可以降低反应活化能的原理，使VOCs在温度比较低的情况下，将其完全氧化为CO2和H2O，一般当温度控制在300℃~450℃的范围内，大部分碳氢化合物可在被其氧化，并且去除率高达98%以上。
热分解工艺简述
热分解工艺一般分为直燃(TO)、蓄热燃烧(RTO)、催化燃烧(CO)、蓄热催化燃烧(RCO)4种，只是燃烧方式和换热方式的两两不同组合，主要可以用于处理吸附浓缩气，也可以用于直接处理废气浓度＞3.5g/m3的中高浓度废气。
TO是将高浓废气送入燃烧室直接燃烧(燃烧室内一般有一股长明火)，废气中有机物在750℃以上燃烧生成CO2和水，高温燃烧气通过换热器与新进废气间接换热后排掉，换热效率一般≤60%导致运行成本很高，只在少数能有效利用排放余热或有副产燃气的企业中应用。
挥发性有机化合物(VOCs)是指室温下饱和蒸气压大于7OPa、常压沸点低于260oC的有机化合物。VOCs种类繁多，绝大部分具有刺激性气味，能够引起、致***作用，而且VOCs是形成光化学烟雾与大气颗粒物质PM的重要来源。我国作为制造业大国，VOCs排放量已达到了，其中工业生产排放的VOCs由于其排放浓度高、持续时间长、污染物种类多、对区域内的空气质量影响显著，所以急需治理。
