{洁净室检测}
洁净室的发尘源
洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。
① 洁净室内作业人员的产尘。一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，人员的产尘量为3.5~5×105个/人·分（≥0.5?m）。是洁净室内的主要的发尘源。
② 洁净室围护和室内表面的产尘。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3~5.0×104 个/m2·分（≥0.5?m）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。
③ 生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别极大。在日本的资料介绍，一台电动机的产尘量大约为4.5~45×104个/台·分（≥0.5?m）。
——压力控制——
洁净室染菌，往往是室外污染空气通过吊顶处风口及灯框处的缝隙流入室内而引起的。为了维持洁净室的洁净度免受邻室的污染或者污染邻室，在洁净室内应维持一个高于邻室或低于邻室的空气压力，同时为了防止外界污染物随空气从围护结构的门窗或其他缝隙（如灯框）渗入洁净室内，以及防止当门开启后空气从低洁净区流向高洁净区，必须使洁净室对相邻房间或走廊维持一个正的静压差（正压）,有时则需要维持负的静压差（相对负压）。这是空气净化中的又一项重要措施。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越显著，洁净度也相应提高。
1) 我国洁净厂房设计规范规定：不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa。洁净室与室外的压差，应不小于10Pa。新GMP上规定都要不小于10Pa。但对于工艺过程产生大量粉尘或***、燃、爆物质的工序，其操作室与其它房间或区域之间应保持相对负压。有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区)，其洞口处宜有合理的气流流向等等。
2) 产尘量大的洁净室经捕尘后仍不能避免交叉污染时，其空气净化系统不得利用回风。防爆区的空气也不能采用循环风（回风）。
洁净室检测
检测可在洁净室工作过程中进行(重复检测);
发生下列各项后需进行重复检测:
1、洁净室达不到给定参数的原因已消除;
2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异(如改变工艺流程等);
3、空气长时间停止流通(进风)而影响洁净室工作;
4、做了影响洁净室工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后
