(1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。
(2)洁净度要求严的洁净室,末级过滤器满布率100%时,对大的系统采用FFU,当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。
(3)对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时,采用FFU系统已经普遍。
洁净室吸尘器是无尘厂房、车间专用的强力真空专用吸尘器,可迅速、便捷、***地完成清洁工作。特点:超高过滤效果,可有效的除去对呼吸气管造成***的***粉尘,减少呼吸***的发生。当你使用专用吸尘器时,可以减少您清洁厂房的次数,因为它不会二次扩散灰尘,并可净化室内空气。有完备的各类吸嘴,任何角落皆可轻松清洁干净。较强的吸力可吸除更深层的粉尘。设计新颖轻巧,符合***工学,操作时不会腰酸背痛,减少***不适。专用吸尘器可专门针对防尘爆及***粉尘,如石棉,铅等物质,美国太空总署特别使用专用专用吸尘器清除货仓内的微细粉尘。
除了人员进出洁净室须予以规范管理外,原材料及设备进出也必须经过洁净程序,方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行,但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,厂房无尘室设备***怎么收费,000级房间,工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服,所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布,清洁剂除了使用超纯水之外,并加入3~5%浓度的IPA或***,以增强去污能力,由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免***地板支架及地板表面,必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板,作为辅助。
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