气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法?
气体管道工程在实施时难免发生大大小小的事情,如果不加以解决会影响整个工程的进展,甚至造成更大的损失,那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗,当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?
产生此类故障的原因有三种:
第i一,是流量计后气路有泄漏;
第二,是气路气阻太小;
第三,是流量控制阀件损坏。
实验室气体管道工程
其检查方法如下:
首先堵住检测器的气路出口,观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零,需要考虑对漏气处进行检查,具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。
气体管道工程
此时应观察一下流量调节阀转动时,流量是否 有较大的变动,若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题,按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。即使是干燥的氯i化氢和氯i气,高浓度时也不能储存在铝合金气瓶中。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。
注:①管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。为了保证管道的强度和刚度,必须设置各种支(吊)架,如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
实验室安全管理制度
一、实验室是进行实践和科研工作的重要基地。为做好实验室安全工作,确保实验工作的顺利开展,制订本管理制度。
二、为确保全体实验人员自身安全和公司财产不受损失,实验室实验员、参加实验的其他人员,必须牢固树立“安全第i一”的思想,严格遵守实验室管理制度和实验操作流程,防止任何安全事故的发生。
三、实验室的钥匙应有专人保管,不得私自配备或转借他人。双休日、节假日及夜间进行实验,应经实验室负责人同意方可进行。
四、严禁用湿手去开启电闸和电器开关,凡漏电仪器不要使用,以免触电。
五、室内不准私拉电线,如工作需要,事先上报有关部门批准实验室内的一切电源要有专人负责管理,定期进行安全检查,发现隐患及时处理,。
六、实验室内存放的一切易i燃、易i爆物品,都要单独隔离,与电源保持一定距离。
七、实验室必须按要求配备消防器材。实验室工作人员应熟
练掌握消防器材的使用方法,并将本实验室的消防器材放在干燥、通风、明显和便于使用的位置,周围不许堆放杂物,严禁消防器材挪做他用。
八、实验室内不准举办一切与实验无关的活动。保持实验室环境整洁,走道畅通,设备器材摆放整齐,严禁占用走廊堆放杂物。
九、实验仪器设备必须有专人管理,使用实验仪器设备必须实验室实验员同意。
未经实验室管理人员许可,任何人不许随意动用实验室的仪器设备。
凡使用贵重、大型精密仪器及电器设备,使用人员必须遵守操作规章,要坚守岗位,发现问题及时处理,
因不听指导或违反操作规程导致仪器设备损坏,要追究当事人责任,并按有关规定给以必要的处罚。
十、实验结束后,应关闭所使用的仪器设备,切断电源、气源和水源,清理和存档、保存实验用品。
十一、禁止使用实验室的器皿盛装食物,也不要用烧杯等当茶具使用。
参加实验的人员离开实验室后,实验室实验员对实验
室内的仪器设备、电(气、水)源等情况进行检查,确认无问题后,关好实验室门、窗。