




光刻技术,重头戏是物理技术,光刻的前道工序如涂胶,后道如显影,都是化学技术,对机器要求不算高。唯独***工序才是难的,其中难又在于光刻机,也就是一只巨型单反相机,其光源和镜头,还有控制技术估计已经是人类的极限了,巨难做。刻蚀说得形象点就是沿着***图形刻槽,化学成分比较大,并不算十分关键的设备,我朝的刻蚀机技术还是很不错的。
济南蓝光同茂广告标牌设备公司
公司的全自动环保蚀刻机成功应用于济南重汽,特变电工, 济南泉城广场,山东大学,山东农业大学,电力集团等。设备销往世界各地:迪拜、泰国、越南、印尼、新加坡、西班牙等,公司主营:蚀刻机,标牌机,腐蚀机,大型热转印机,立体玻雕机、印刷设备等全系列新型数控标识设备、技术开发、***培训,是数码标识配套设备供应商,公司产品连续多年荣获山东消费者满意单位称号。
这俩机器的解释就是光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面,刻蚀机再把刚才画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀掉,这样看起来似乎没什么难的,但是有一个形象的比喻,每一块芯片上面的电路结构放大无数倍来看比整个北京都复杂,这就是这光刻和蚀刻的难度
因此,蚀刻部位的金属不断地溶解并在金属的表面留下当量电子,其反应式
如下:
式中 M-蚀刻金属的原子;
ne—溶解金属留下的当量电子数;
M ne—失去ne个电子的金属离子,未水合化;
M ne.xH20—进入电解液的金属水合离子。
阴极上的反应是电解溶液中的还原性物质如氢离子、氧分子或金属正离子等在阴极上得到电子,还原成氢气析出或生成氢氧根负离子或金属沉积物附着在阴极上,因此阴极反应是各种还原反应的结果。其电极反应如下:2H 2e→H2↑2H20 02 4e→40H-M ne ne→M↓
从上可以看到,电解蚀刻主要是利用电流加快蚀刻部位金属的溶解,而不是化学蚀刻那样要加入各种添加剂,特别是催速剂。在某种条件下还可能一面将蚀刻的金属溶解,另一方面又能将溶解的金属在阴极上沉积而回收。从示意图6—7上可以看到电解蚀刻需要有专用的电解设备、电源系统及配电设施,在实际操作时,还要有挂具和装卸作业等。