OLED有机无机联合蒸发系统介绍
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OLED有机无机联合蒸发系统
设备用途 ：
适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作。与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域
设备组成：
该设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。
技术要求：
1、镀膜室：镀膜腔室尺寸约为600×450×450mm，不锈钢材料，方形前后开门结构，内带有防污板。
2、抽气系统：采用分子泵 机械泵抽气系统；
3、有机源蒸发源4个，容积5ml，2台蒸发电源，可测温控温，加热温度400℃，功率0.5Kw；
3、挡板：蒸发源挡板采用自动磁力控制方式，控制其开启；
4、样品架系统：可放置大小为Φ120mm的样品，旋转速度为：0～30转/分；
5、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。
6、无机蒸发源2套、容积5ml，2台蒸发电源，加热电流300A，功率3.2Kw；
7、石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?
真空镀膜技术的应用
沈阳鹏程真空技术有限责任公司***生产、销售电阻热蒸发镀膜产品，我们为您分析该产品的以下信息。
1、在光学薄膜领域中的应用:增透膜、反膜、截止滤光片、防伪膜等。
2、在建筑玻璃方面的应用:阳光控制膜、低辐射玻璃、 防雾防露和自清洁玻璃等。
3、在防护涂层中的应用:飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。
4、在硬质涂层中的应用:切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。
5、在太阳能利用领域的应用:太阳能集热管、太阳能电池等。
6、在集成电路制造中的应用:薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。
7、在信息存储领域的应用:磁信息存储、磁光信息存储等。
8、在信息显示领域的应用:液晶屏、等离子屏等。
9、在装饰饰品上的应用:手机壳、表壳、眼镜架、五金、 小饰品等镀膜。
派瑞林涂层在磁性材料上的应用
随着信息产业的不断发展，磁性元件越来越趋向于小型化，传统的电镀或环氧电泳漆等防护方式，已无法对其实现可靠的防护。小型软磁芯作饶线器件时，磨损中心很容易使磁性绕组电线失去绝缘性。派瑞林不仅能克服这一缺陷，而且形成耐摩擦的内表面，这样可加速延展和绕组过程。同时可以增加铁氧体等磁性材料的介电性及耐高压性能。Parylene独特的制备工艺和优异性能相结合，使它能对小型超小型磁材进行无薄弱点多方位涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀，起到非常好的防锈、耐盐雾腐蚀的作用。目前国际上小型超小型磁材，几乎都采用Parylene作绝缘和防护涂层。
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