多线切割机
近年来，由于***的重视，将极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项课题列入***重大科技专项，另外，国内有关设备制造企业也看到了这个巨大的商机，大力投入人力物力开展艰苦的研制开发，先以模仿为主，逐渐转向自主创新，研制出有自身知识产权的高性能多线切割机。砂浆切割设备改造为金刚线切割设备的优点是，***小，每台设备的改造费用约60万元，可有效利用现有的设备，避免原有设备的闲置与浪费。
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硅片切割设备
金刚线专用设备主要有进口专机和国产转机，进口专用设备的报价基本在350万到500万之间，代表厂商有梅耶博格MB-288、NTC PV600DT等设备；国产金钢线专用设备报价基本在200-240万之间，无论是国产专机还是进口专机，其前期投入均较大，且面临原有设备闲置浪费的风险，因此，目前该方案主要适用于近期计划新上硅片切割 设备厂家，如隆基、协鑫、阿特斯、比亚迪等近期新上的切片项目均采用的是金钢线专用设备。因此现有的主流砂浆线切割设备在不进行改造的前提下，不能使用金刚线切割。
?电火花线切割
电火花线切割加工要求被加工材料必须导电，其工作原理是在绝缘油介质中，靠金属切割盘与试样之间产生的电弧起切割作用。将工件接入脉冲电源正极，采用钼丝或铜丝作为切割金属丝，将金属丝接高频脉冲电源负极作为工具电极，利用火花放电对加工零件进行切割。市场上有专为材料研究人员而设计，用于脆性材料样品的精密切割机。脉冲电源提供加工能量，加工过程中应用专用的线切割工作液清除加工中产生的碎屑，切割过程中若工件材料过厚时，工作液较难进入和充满放电间隙，会对加工精度和表面粗糙度造成影响。
而金刚石线切割不存在导电的问题，其加工精度和粗糙度都大幅提升
