机械密封件；用途为半导体制造设备匀胶机用。轴与设备之间存在一个圆周间隙，设备中的介质通过该间隙向外泄漏，如果设备内压力低于大气压，则空气向设备内泄漏，因此必须有一个阻止泄漏的轴封装置。原理为磁铁和转轴所构成的磁性回路，在磁铁产生的磁场作用下，把放置在轴与顶端缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个所谓的“O”形环，将缝隙通道堵死而达到密封的目的。功能为把旋转运动传递到密封容器内，实现真空密封。行业上称为“转动轴封”
液体介质泄漏分为五级
(1)无泄漏：检测不出泄漏为准。
(2)渗漏：一种轻微泄漏。表面有明显的介质渗漏痕迹，像渗出的汗水一样。擦掉痕
迹，几分钟后又出现渗漏痕迹。
(3)滴漏：介质泄漏成水球状，缓慢地流下或滴下，擦掉痕迹，5min内再现水球状渗漏者为滴漏。
(4)重漏：介质泄漏较重，连续成水珠状流下或滴下，但未达到流淌程度。
(5)流淌：介质泄漏严重，介质喷涌不断，成线状流淌。
气态介质泄漏分为四级
(1)无泄漏：用小纸条或纤维检查为静止状态，用肥皂水检查无气泡者。
(2)渗漏：用小纸条检查微微飘动，用肥皂水检查有气泡，用湿的石蕊试纸检验有变色痕迹，有色气态介质可见淡色烟气。
(3)泄漏：用小纸条检查时飞舞，用肥皂水检查气泡成串，用湿的石蕊试纸测试马上变色，有色气体明显可见者。
(4)重漏：泄漏气体产生噪声，可听见。
机械密封概述
1.定义
由至少一对垂直于旋转轴线的端面在流体压力和补偿机构弹力（或磁力）的作用以及辅助密封的配合下保持贴合并相对滑动而构成的防止流体泄漏的装置。
2.基本结构
机械密封一般主要由四大部分组成：
①由静止环（静环）和旋转环（动环）组成的一对密封端面，该密封端面有时也称为摩擦副，是机械密封的核心；
②以弹性元件（或磁性元件）为主的补偿缓冲机构；
③辅助密封机构；
④使动环和轴一起旋转的传动机构。
