双床真空变压吸附制氧装置在两个工艺床中使用13X和N - 2 分子筛吸附剂, 选择性地吸收氮气、水、二氧化碳和碳氢化合物, 而让氧分子和分子通过, 从而获得产品氧气。当分子筛吸附废气达饱和状态时, 必须进行再生。通过内部的压力变化, 可完成活化和再生的过程。当吸附过程进行一定时间后，吸附剂达到吸附饱和状态，此时停止吸附，通过均压将部分富氧气体返回吸附塔，然后通过真空泵将吸附塔内吸附的气体强制性抽走，使吸附剂在负压状态下得到完全解吸与再生。为此设置了两台旋转叶轮式鼓风机提供压差。一台原料风机提供吸附用的大气, 一台真空风机用于把所吸附的气体清除至废气物流中。
由于VPSA制氧系统是按循环周期以分批方式生产氧气, 因此必须把氧气产品储存到氧气缓冲罐中, 以向产品氧压机提供连续的气流。吸附制氧系统是真空变压吸附制氧系统的核心部分，原料空气从吸附塔底进入，通过吸附塔内的多种吸附剂，将空气中的水、CO、CO2、烃类依次吸附，在专用吸附剂层，空气中的绝大部分氮被吸附，氧则被浓缩至≥80% 的浓度，作为产品的氧气从吸附塔顶排出，进入氧气缓冲罐。入口空气过滤器由内、外两层过滤网组成, 用于除去空气中的机械杂质, 设置的压差计用于显示过滤器是否该进行维护。
工业大型制氧设备的预防措施
1、当氧气机开启工作时, 不要使流量计浮球在0处;
2、在没有安装过滤器和过滤网的情况下禁止开机;
3、氧气发生器工作时, 尽量在室内清洗位置, 从墙面或其他物体周围的距离不小于20厘米;
4、氧气发生器应放置稳定, 否则会增加氧气发生器的运行噪音;
5、使用氧气发生器应避免明火、避火;
6、在湿瓶中的水位不宜过高 (水位半为宜), 否则, 瓶子容易逃逸或进入吸氧管;
***制氧设备的预防措施
7、使用氧气发生器时, 如发生故障, 防止断电, 如发生氧气和事故的影响, 请准备其他应急措施;
8、在运输和贮存过程中, 严禁横向、倒置、潮湿或直射阳光;
9、长时间制氧器, 请切断电源, 倒出湿瓶水, 氧气机表面擦拭干净, 用塑料盖, 放置在干燥处, 无阳光照射;
10、清洁氧气发生器、过滤器等, 或更换***时记得切断电源。
工业制氧机***的物理制氧原理
筛的变压吸附应用***的物理制氧原理，常温下直接将空气中的氧、氮分离，取得了高纯度***氧气，并可持续供氧。
空气由压缩机加压后经过空气预处置装去油及水等固体杂质，通过加压吸附冷却至常温，经过处置后的压缩空气由进气阀进入装有分子筛的吸附塔，空气中的氮气与二氧化碳被吸附，流出的气体即为高纯度的氧气，当吸附塔达到一定的饱和度后，进气阀关冲洗阀开，解吸阀打开进入解吸再生阶段，这样即完成了一个循环周期。
就由吸附塔分别进行相同的循环过程，从而实现连续供气，由单片机全自动控制，用分子筛在常温下高纯度氧气。
***制氧机使用寿命较长，性价比较高，费用低于其它吸氧方式使用进口分子筛的***制氧机中，其制氧原理通过分子筛变压吸附作用，采用物理制氧原理在常温下直接将空气中的氧气分离实现了继续不间断供氧。
其操作需打开电源连接好吸氧管，可得到高纯度的纯真氧气，日常维护仅仅需要定期清洗湿化瓶、过滤网和更换过滤器滤芯，免除了使用化学制氧器需要不时投放制氧药剂的麻烦，体积小移动方便，有电力供应的地方即可使用。
