高纯度气体的管道输送，将高纯气体送至用气点，并保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。高纯气体管道输送管道，要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细，它不仅要求有洁净的生产环境，而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求，从微米技术进入亚微米、深亚微米（小于O.35g.m）技术，对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格，10 （ppm级）已经不能达到要求，需要达到10 （ppb级），甚至10一~2（ppt级），尘埃粒径要求控制到0.05-0。Olla,m。高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氦而言，通常指纯度等于或高于99。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。
3.出气速率
材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质，如氮、碳氢化合物等，在高纯气体输送过程中，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。
4.吸附性
由于水分等杂质是极性分子，吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质，铜材对水吸附性极强，使用这些材料输送高纯气体易被污染，除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外，高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料（包括聚四氟乙烯）。氢气比空气轻，在室内使用和储存时，漏气上升滞留屋顶不易排出，遇火星会引起爆l炸。
高纯气体管路安装具有哪些优势？
1、 高压气体充装台、气体汇流排、气瓶集装阁、气体工位分配箱系列
2、 空温式、电加热、水浴式汽化器系列
3、 新一代往复式低温液体泵、二氧化碳充装泵、低温液体离心泵、二氧化碳灌注泵、大流量泵系列
4、 永l久气体防错装接头、槽车用快速接头、各式充瓶卡具系列
5、 高压不锈钢软管、不锈钢波纹管系列、真空多层绝热低温液体管道系列
6、 低温阀门、不锈钢球阀门、不锈钢截止阀、各种气体管路阀、止逆阀、安全阀、氧气瓶阀及其配件系列
7、 溶解***成套设备及大中小型空分设备配件系列
8、 气体管路减压器、调压阀、压力表、氢、氧、***高中压回火防止器
9、 气体钢瓶检测设备、气瓶真空干燥装置系列
10、气体调压输送装置、多元气体配气装置、气体试压装置
