平面研磨机的加工效率，优质性能的研磨液不可或缺。研磨液在工件被加工过程中发挥着研磨、润滑、冷却等性能。
一般情况下，研磨液里的液体是油或是水，不考虑其他因素情况下，水的导热性比油要好。在***近的研究发现，加入纳米级金刚石颗粒的研磨液有着更好的导热性，这样对研磨盘加工时的及时冷却有着非常好的帮助。
平面研磨机的研磨加工，匹配的研磨液必须平衡流动时热量传输性能。低粘液像水和乙二醇能流动自如，但不能很好地传道热量，同时受到稳定性、粘度、表面电荷、分层、聚集和其他因素，传动的热传导液体会限制基本的流动性能。
研磨盘是我们在研磨过程中不可缺少的一部分，而影响研磨盘的有两个方面：
***，研磨盘的磨损程度：磨损越大，研磨盘使用寿命越短，那么对于生产者来说当然是磨损越小越好。研磨盘是平面研磨机的一个重要组成，它决定了产品的高精度以及质量。关于这点，我们通常可以通过提高平面研磨机切削速度来降低研磨盘磨损，因为切削速度的提高不但不会影响工件的加工精度，还可以增加工件的材料去除率，降低研磨盘磨损。
第二，研磨盘磨损的均匀性：研磨盘磨损不均匀会改变研磨盘平整度，不平整的研磨盘会造成研磨压力不均匀，导致工件平面度达不到加工要求。当遇到硬度非常高的合金金属材料时，我们一般选用的是金刚石研磨盘。而均匀性好能保证在批量加工中，在较长时间内加工的工件都具有较好的面形精度，从而降低研磨盘的修盘频率，提高加工效率和产品合格率，并降低成本。
平面研磨机的研磨盘平面度修整的方法有两种：
1是采用基准平面电镀金刚石修整轮来修面，由于电镀金刚石修整轮基本不磨损，可得到较高的平面度。
2是通过修整机构修面后，也可获得较好的平面度，这种修整的原理与车床原理一致，研磨盘旋转，一个可前后运动的刀在刀杆的带动对研磨进行切削获得平面，务必达到±0.001mm 生产出来的产品才能更好的保证质量。
平面研磨机可用于加工各种金属和非金属材料，加工的表面形状有平面，内、外圆柱面和圆锥面，凸、凹球面，螺纹，齿面及其他型面。加工精度可达 IT5～01，表面粗糙度可达Ra0.63～0.01微米，属于精密加工。关于这点，我们通常可以通过提高平面研磨机切削速度来降低研磨盘磨损，因为切削速度的提高不但不会影响工件的加工精度，还可以增加工件的材料去除率，降低研磨盘磨损。该系列抛光机主要用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光。