国内半导体制造和光伏电池上游加工,包括:去头尾、截断、开方等的加工,大部分仍然采用金刚石带锯设备。加工表面粗糙,浪费材料,金刚石带锯价格也不菲。
实际上,应该使用金刚石线锯机切割加工,能得到更高的质量。
元素环形金刚石线切割机的主要性能:
1. 切割晶体尺寸: 300*300 mm
2. 切割线线速度: 小于60 m/s
3. 工作台进给速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
线切割工艺
目前,金刚线切割工艺的辅料主要为金刚线及切割液:
金刚线 金刚石锯线是一种固态研磨工具,金刚石颗粒用电镀或者环氧基方式粘接在基线上。金刚石锯线分为电镀金刚石锯线和树脂结合剂锯线。
树脂结合剂金刚石锯线是一种采用树脂作为结合剂,将金刚石磨粒固结于锯丝基体表面而形成的固结磨料锯线。树脂结合剂锯线制造方法与树脂结合剂砂轮的制造类似,直接将含有金刚石磨料的树脂混合物涂敷在金属丝表面,经过干燥后再固化。电火花线切割加工要求被加工材料必须导电,其工作原理是在绝缘油介质中,靠金属切割盘与试样之间产生的电弧起切割作用。相比电镀金刚石锯线,树脂涂层的剪切模量较低,锯丝的扭切强度基本不变,更重要的是树脂结合剂金刚石锯丝制作工艺简单,生产成本低,生产效率高。、
线切割速度
线切割过程中的速度调整:
若设置的线切割速度与实际切割速度不匹配容易发生夹线,进而使金刚石线断开,切割速度的设定没有具体规定,一般根据经验选择。基于金刚线本身性能与普通钢线的差异,金刚线切割对切片机的设备提出了更高的要求。切割过程中当发现所选用的速度过大时可进行适当的调整,速度的大小可根据金刚石线出现弧度的速度进行调整,若切割过程中金刚石线几乎一直处于平直状态,说明所选用的切割速度还可以适当增加,直到调整到金刚石线的弧度状态一直保持不变的,说明所选用的切割速度适于材料的切割