{洁净室检测}
***和超***过滤器都做为净化系统的终端过滤器。一般放置在洁净室的吊顶上。***过滤器（HEPA）是洁净室的必须的终端过滤器。而超***过滤器是0.1?m，10级、1级或更高别洁净室必须的终端过滤器。***过滤器除去的是≥0.5?m的粒子。亚***、***和超***过滤器都是一次性的，使用后就废弃的。***和超***过滤器都做为净化系统的终端过滤器。一般放置在洁净室的吊顶上。6、检查洁净室运行文件的成套性，其中包括参数的检查方法，洁净室工作事故及采取的措施等，是否有基本的规程，如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等。***过滤器（HEPA）是洁净室的必须的终端过滤器。而超***过滤器是0.1?m，10级、1级或更高别洁净室必须的终端过滤器。***过滤器除去的是≥0.5?m的粒子。亚***、***和超***过滤器都是一次性的，使用后就废弃的。
检漏的范围
1、过滤器的滤材。
2、过滤器的滤材与其框架内部的连接。
3、过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间。
4、支撑框架和墙壁或顶棚之间。
PAO法检漏仪器
1、尘源：PAO溶剂。
2、气溶胶发生器：即产生烟雾的装置。
3、气溶胶光度计：即测定和显示气溶胶浓度的仪器。
PAO法原理
在被检测***过滤器上风侧发生PAO气溶胶作为尘源，在下风侧用光度计进行采样，含尘气体经过光度计产生的散射光由光电效应和线性放大转换为电量，并由微安表快速显示。采集到的空气样品通过光度计的扩散室，由于粒子扩散引起灯光强度的差异，经测定这个光强度，光度计便可测得气溶胶的相对浓度。(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。由此而知，PAO试验实际测得的是***过滤器的穿透率，而***过滤器其效率与穿透率存在以下的关系：
K=(1—α）×100%
式中 K——***过滤器穿透率，％；
α——***过滤器效率，％。
洁净室检测
检测可在洁净室工作过程中进行(重复检测);
发生下列各项后需进行重复检测:
1、洁净室达不到给定参数的原因已消除;
2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异(如改变工艺流程等);
3、空气长时间停止流通(进风)而影响洁净室工作;
4、做了影响洁净室工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后
