可燃烧废气通过催化剂的作用在较低的温度下分解净化，区别于焚烧炉的焚烧法，焚烧方式温度较高，催化燃烧的催化温度根据废气的不同而不同，一般在250℃-500℃左右。
比较正规的催化燃烧流程为吸附-脱附-燃烧三个阶段，利用活性炭吸附废气效率高的特点，先让活性炭吸附有机废气，然后通过高温气流让活性炭再脱附，这样活性炭可以反复循环进行吸附-脱附，脱附下来的废气被浓缩处理，进而送到催化燃烧室进行催化燃烧分解并释放热量，然后在换热器的作用下使废气浓度达到2000PPM以上，这样废气就可在燃烧床反复燃烧持续自燃，不用再额外加热。经过催化燃烧处理后的废气一部分达标排放到大气中，大部分回到吸附床使活性炭脱附，形成循环往复的系统，这样可以更好的提供催化燃烧设备吸附脱附催化的热量且更加的节能环保***。
废气催化燃烧设备针对中低浓度废气，利用吸附-催化燃烧工艺进行回收净化的过程如下：有机废气经去除粉尘等预处理后，进入装有***吸附剂的吸附器，空气得到净化。随着吸附的进行，吸附剂逐渐达到饱和，在与高温热空气的接触过程中，有机废气被脱附下来形成高度浓缩的废气，同时吸附床得到再生。再生后的吸附床又可进行吸附作业。经脱附形成的浓缩废气进入催化燃烧器，生成二氧化碳和水达标排放。
RCO，是指蓄热式催化燃烧法，英文全称为“Regenerative Catalytic Oxidation Oxidition
C是催化的代名词，RCO的造价相对较低，主要的支出在于购置催化剂上面。
蓄热式催化燃烧法作用原理是：第1步是催化剂对VOC分子的吸附，提高了反应物的浓度，第2步是催化氧化阶段降低反应的活化能，提高了反应速率。借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度下，发生无氧燃烧，分解成CO2和H2O，放出大量的热，与直接燃烧相比，具有起燃温度低，能耗小的特点，某些情况下达到起燃温度后无需外界供热，反应温度在250-400℃。
