环形金刚线十分适合陶瓷靶材的切割,尤其,国内靶材生产企业在向优质靶材产品发展,靶材密度偏高,用电火花或带锯切割效率低,耗材大。 相比较而言,环形金刚线优势明显,精度高环形金刚线,不但切割效率高,而且结构简单,造价低,扬尘小环形金刚线,装拆金刚石线简便,是靶材切割的一个重要方式。 素工具以技术为导向,拥有多项专利技术,其主要产品环形金刚线为切割行业解决了多项切割难题,给光伏,磁材,陶瓷,轮胎等行业带来了新的活力和竞争优势。欢迎各行业前来咨询合作。
我国晶圆芯片加工进入大规模发展的黄金时代,其上游的晶圆切割加工链中仍然为大量的金刚石带锯所占据。
目前晶圆直径正向更大方向发展,从原來的 8、10、12、15 英寸甚至到了 20 英寸,越大越适合环形金刚线切割,如图 17,某晶圆芯片公司的 Φ350mm 晶圆在环形金刚线立式机切片,效果十分满意,其工艺参数为:
线速度 38m / s,环形金刚线,进给速度 15 ~ 30mm / min,切割面精度 0.02 ~ 0.05μm,片厚 2 ~ 5mm。
很多线切割企业会纠结张紧力和切割锯丝速度之间的关系,认为线速度越低锯丝的震动就越少,实际上当张紧力调整到某一数值时, 锯丝速度会存在一对应的范围, 在此范围内,***环形金刚线, 锯丝速度的提高不会增加锯丝的振动。
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