与射水抽气器比较，离心真空泵有耗功低、耗水量少的优点，并且噪声也小。离心真空泵的缺点是：过载能力很差，当抽吸空气量太大时，真空泵的工作恶化，真空***。为了减少液氦消耗，液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。这对真空严密性较差的大机组来说是一个威胁。故可考虑采用离心真空泵与射水抽气器共用的办法，当机组起动时用射水抽气器，正常运行时用真空泵来维持凝汽器的真空。
电子束可以很容易的做到几千瓦级的输出，而激光器的一般输出功率在1 kW~5 kW之间。电子束加工的功率能达到激光的数倍，其连续热源功率密度比激光高很多，可达1×107 W/mm2。因此，要提高油扩散泵的抽气和真空性能，泵在工作中自身还要对泵油进行分馏和净化。同时比起激光15%的能量利用率，电子束的能量利用率要高很多，可达到75%。
激光在理论上光斑直径可达1 nm，但在实际应用中一般达不到。而电子束则可以通过调节聚束透镜的电流来对焦，束径可以达到0.1 nm。因而可以作到极细的聚焦。加工出的产品粒度高，纯度高，性能更优越。
磁控溅射镀膜是气象淀积的一种，广泛应用于电子，建筑，汽车等行业中，尤其适用于大面积镀膜。
磁控溅射镀膜以其高速、低温、几乎可以溅射任何材料的特点，现在已经成为应用***广泛的薄膜制备方法之一。
磁控溅射镀膜的薄膜均匀性、成膜质量、镀膜速率以及工艺的稳定性和重复性是人们非常关心的问题，而设备的稳定性直接决定了工艺的稳定性。
磁控溅射的种类很多，按所用电源分，可以分为直流磁控溅射、射频磁控溅射、中频磁控溅射。