高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。给水或其他液体管道在***i高点设有排气装置，排除积存在管道内的空气或其他气体，以防止气阻造成运行失常。
管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道，需要用保温材料包覆在管道外面，防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing amp; Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。
实验室气路改造安全要求
1、乙i炔铜盐、乙i炔气和气瓶不得与铜或含铜量超过70%的合金接触。所有附件不得使用这些金属。
2、气瓶和仪器之间应该有一个安全瓶，以防止吸回瓶中的现象发生，并造成***。
3、如果气瓶发热或发生回火，立即关闭气瓶阀门，将气瓶移出室外空矿坑，将气瓶浸入冷水中，或倒入大量冷水降温，慢慢打开阀门并继续冷却，直到气体释放。
4、乙i炔、氢气和液化石油i气是***的。
5、氧气虽然不易i燃，但助燃性强，不得接触污物、有机物。
6、使用腐蚀性气体。气瓶和附件应经常检查。不用时不要把它们放在实验室里。
实验室气路优点
在实验室气路设计安装中，常采用集中供气的方式输送高纯气体，有以下优点：
1、保持气体纯度
专用气瓶均配有冲洗阀，以排除每次更换气瓶时引入的杂质，确保了管路终端气体的纯度。
2、不间断气体供应
气路控制系统可以手动或自动方式在气瓶之间进行切换，以保证气体的连续供给。
3、低压警示
当气压低于警报限时，报警装置可自动启动报警。
4、气体压力稳定
系统采用两级减压(一级由供气控制系统调节，二级由使用点的控制阀调节)方式供气，可得到非常稳定的压力。
5、***率
通过供气控制系统，可充分使用钢瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本。
6、操作简便
所有气瓶均集中在同一位置，减少了搬运安装等操作，更节约时间及成本费用。
7、减少气瓶的租金
采用***供气系统，可减少对气瓶数量的要求，从而节省气瓶的租用和购买成本。
8、减少分子筛损耗
控制气体纯度可有效地减少数派对分子筛的使用量(节约成本)。
9、无气瓶在实验室中
采用***供气系统意味着实验室中没有气瓶装备，有如下好处：
---提高安全性。气瓶可能倒地而导致损坏或伤害。
---提高安全感。气瓶可能导致气体泄漏、火灾等***情况。
---节省空间。从实验室移走气瓶可空出更多的实验空间。
10、其它好处
---降低控制阀的损坏和丢失率。
---缩短气阀与仪器间的连接管路的长度，更为方便
