配管的准备工作
(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。
(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。
(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。
(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，并使溶剂流经阀门各处，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。
(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。
(6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。
3.金属管道的连接
(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:
1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。
2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如GaAs的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。
特气管道工程
特气就是特种气体，指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、***气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采i矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、***研究及诊断、食品保鲜等领域。999%以上，其次气体的供应必须连续，输出压力平稳，气体的压力波动可能导致仪器设备无法正常工作，气体的不连续供应甚至可能导致仪器设备故障，因此实验室气体管路的设计必须非常严格。区别于我们呼吸的空气（含21%氧，78%氮，1%水、二氧化碳等），其纯度一般在99.99%（4N）以上。
特气管道施工一般分为主系统，二次配主系统，根据客户要求有气源送到用气点附近的管道一般没有什么***，只要根据客户要求按照规范去施工，二次配管VMB阀箱预留阀到机台接点之间的管道施工，一般都会在无尘室进行，二次配管的***在于主通道已经通上气体介质，我们在无尘室施工，要在客户工程师的陪同下进行，对于无尘室的阀门及类似阀门的开关，不要乱动，无尘室都会安装气体探头和气体***报警装置，一旦有气体***，我们应丢下手中任何工作，通过安全指示撤出无尘室。1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成。
实验室安全管理制度
一、实验室是进行实践和科研工作的重要基地。为做好实验室安全工作，确保实验工作的顺利开展，制订本管理制度。
二、为确保全体实验人员自身安全和公司财产不受损失，实验室实验员、参加实验的其他人员，必须牢固树立“安全第i一”的思想，严格遵守实验室管理制度和实验操作流程，防止任何安全事故的发生。
三、实验室的钥匙应有专人保管，不得私自配备或转借他人。双休日、节假日及夜间进行实验，应经实验室负责人同意方可进行。
四、严禁用湿手去开启电闸和电器开关，凡漏电仪器不要使用，以免触电。
五、室内不准私拉电线，如工作需要，事先上报有关部门批准实验室内的一切电源要有专人负责管理，定期进行安全检查，发现隐患及时处理，。
六、实验室内存放的一切易i燃、易i爆物品，都要单独隔离，与电源保持一定距离。
七、实验室必须按要求配备消防器材。实验室工作人员应熟
练掌握消防器材的使用方法，并将本实验室的消防器材放在干燥、通风、明显和便于使用的位置，周围不许堆放杂物，严禁消防器材挪做他用。
八、实验室内不准举办一切与实验无关的活动。保持实验室环境整洁，走道畅通，设备器材摆放整齐，严禁占用走廊堆放杂物。
九、实验仪器设备必须有专人管理，使用实验仪器设备必须实验室实验员同意。
未经实验室管理人员许可，任何人不许随意动用实验室的仪器设备。
凡使用贵重、大型精密仪器及电器设备，使用人员必须遵守操作规章，要坚守岗位，发现问题及时处理，
因不听指导或违反操作规程导致仪器设备损坏，要追究当事人责任，并按有关规定给以必要的处罚。
十、实验结束后，应关闭所使用的仪器设备，切断电源、气源和水源，清理和存档、保存实验用品。
十一、禁止使用实验室的器皿盛装食物，也不要用烧杯等当茶具使用。
参加实验的人员离开实验室后，实验室实验员对实验
室内的仪器设备、电（气、水）源等情况进行检查，确认无问题后，关好实验室门、窗。
