天门特种气体- 鑫和丰(图)

7.内表面处理

为了进一步改善管道材料特性，对管道内表面进行处理，一般有三种方法：酸洗钝化（AP），光亮退火（BA）和电解抛光（EP）处理。试验资料和实践都证明，通过表面处理后。管道材料的粗糙度减小。出气速率降低。表面吸附性减弱。

8.管道材料及连接

纯度在99.99％以内的气体管道，采用10#或20#无缝钢管（内表面镀锌或纯化处理）、铜管。镀锌管道采用螺纹连接。总杂质含量≤10—100ppm的气体管道，采用304不锈钢光亮退火管（304BA）、304不锈钢管纯化处理（304AP）、紫铜管。管道采用焊接连接，可以采用对接焊、承插焊或套管焊接。总杂质含量≤1-1oppm的气体管道，采用316L不锈钢光亮退火管（316LBA）、316L不锈钢电抛光管（304EP）。管道连接采用焊接， 内壁无瘢痕的对接焊，高纯***气保护焊。总杂质含量≤lppm的高纯气体管道，必须采用316L不锈钢电抛光管（3l6LEP）。管道连接采用焊接，内壁无瘢痕的对接焊，高纯***气保护焊，在专用的洁净室内进行。

高纯三氟化氮

化学性质稳定，一般条件下在水与碱溶液中均不反应（三校合编无机化学第四版下册534页），只有当放电时在水中才发生NF3 2H2O==放电==HNO2 3HF。F的电负性大于H，因此NF3中的孤对电子云由于向F偏移而导致电子云密度比在NH3中低，配位能力下降，因此质子化时放热小于NH3。偶极矩与上面类似，大概就是由于电负性的增强导致偶极矩的降低。

禁配物：还原剂、***或可燃物。

管道阀门及连接

气体管道普遍采用球阀、隔膜阀和波纹管阀，根据气体纯度、***性和可燃爆l炸性要求选择相适应的阀门。纯度在99.9999％以内的气体管道，采用304不锈钢球阀，特种气体，可以采用法兰连接，法兰垫片为软金属垫片、聚四氟乙烯垫片。总杂质含量≤10ppm的气体管道，采用隔膜阀和波纹管阀。可燃爆l炸性的气体必须采用波纹管阀。阀门采用卡套连接，软金属整片。由于隔膜阀具有波纹管阀相同的密封性能外，还具有阀内死空间小、容易吹除干净、污染小等突出特点，总杂质含量≤lppm纯度要求极为严格的管道以及***性极大的气体管道，推荐使用隔膜阀。阀门采用VCR卡套连接，软金属垫片。