





磁控溅射镀膜设备的主要用途
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1.各种各样多功能性的塑料薄膜镀一层薄薄的膜。所镀的膜通常可以消化吸收、散射、反射面、折射角、偏光等实际效果。
2.服装装饰设计应用领域,例如各种各样光的反射镀一层薄薄的膜及其透明色镀一层薄薄的膜,可可用在手机壳、电脑鼠标等商品上。
3.电子光学制造行业行业中,其是这种非快热式镀一层薄薄的膜技术性,关键运用在有机化学气候堆积上。
4.在电子光学行业中主要用途极大,例如光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和全透明导电性夹层玻璃等层面获得运用。
5.在机械制造业生产加工中,其表层作用膜、超硬膜这些。其***可以出示物件表层强度进而提升有机化学可靠性能,可以增加物件应用周期时间。

真空磁控溅射镀膜
所谓溅射就是用荷能粒子(通常用惰性气体的正离子)去轰击固体(以下称靶材)表面,从而引起靶材表面上的原子(或分子)从其中逸出的一种现象。溅射方法很多,主要有二级溅射、三级或四级溅射、磁控溅射、对靶溅射、射频溅射、偏压溅射、非对称交流射频溅射、离子束溅射以及反应溅射等。这一现象是格洛夫(Grove)于1842年在实验研究阴极腐蚀问题时,阴极材料被迁移到真空管壁上而发现的。
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磁控溅射设备的主要用途
(1)各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池的光电转换效率。随着液晶显示器技术向高精细化和大型化发展,磁控溅射法备受欢迎。(2)装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。(3) 在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机(4)化学气相沉积(MOCVD)生长困难及不适用的材料薄膜沉积,而且可以获得大面积非常均匀的薄膜。(5) 在光学领域:中频闭合场非平衡磁控溅射技术也已在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面得到应用。特别是透明导电玻璃目前广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。(6)在机械加工行业中,表面功能膜、超硬膜,自润滑薄膜的表面沉积技术自问世以来得到长足发展,能有效的提高表面硬度、复合韧性、耐磨损性和抗高温化学稳定性能,从而大幅度地提高涂层产品的使用寿命。磁控溅射除上述已被大量应用的领域,还在高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用。