




{***空气过滤器检漏}方法
——高空气过滤器检漏检测方法——
气溶胶光度计测试法
气胶光度计测试法是***早期的测试方式,但是因为效果非常好,到今天仍旧沿用。气胶光度计( Aerosol Photometer )是微粒计数器的一种,也是使用雷射科技,但是它在扫描空气样本的微粒之后,所给的是微粒的总体强度,不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质,现改用PAO,加压或加热雾化之后,可以产生次微米等级的微粒,可用来模拟无尘室的微粒,因此被当成验证微粒。动态洁净室的检测(PQ)为了评估动态洁净室工作的稳定性:1、验证洁净室分割制度。 微粒计数器测试法
半导体业方面,早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计,但是随着制造精密度增加,油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用,因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒,在上游施放,然后用微粒计数器在下游扫描,寻找泄漏,基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果,发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制,因此是目前***广为使用的标准微粒。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。使用时只要把 PSL 溶液雾化,导入滤网上游即可
{洁净室检测}
综合净化措施
空气洁净技术是一项综合性的措施,解决交叉污染还必须从工艺、设备、建筑等方面考虑。如对容易产尘的工艺操作,在设计、设备、管道和容器选用时要强调密闭性能良好;室内凡有缝隙的地方都要强调密封;对产尘量大的设备,如粉碎、过筛、混合、干燥等设备应采用除尘措施;检测项目:风量(换气次数)、风速、压差(静压差)、温度、相对湿度、照度、气流流型、悬浮粒子(空气洁净度等级)、浮游菌、沉降菌等。对工艺管道、公用工程管道采用技术夹层、管道竖井、技术夹墙等暗敷方式,使生产环境减少积尘点,等等。
3、然而,生物洁净室对环境洁净度的控制尚不仅限于微粒。
4、***,鉴于它救人的特殊作用,在生产环境中除了对非生命污染物——微粒要加以限制外,还必须对有生命的污染物——微生物做出必须的规定。因为它们对***的污染比微粒更甚,不加以控制则对***危害更为严重。微生物多指***和***,可以在一切地方产生,有很强的繁殖力。空气中的微生物多数附着在灰尘上,也有的以芽孢状态悬浮在空气中。微生物污染是指因微生物产生、附着而给特定的环境带来的不良影响,由于微生物不断生长和繁殖,因为它是“活的粒子”。2m左右,将已制备好的培养皿置于采样点,打开培养皿盖,使其暴露规定的时间,再将培养皿盖上,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。
5、正是因为这些原因,生物洁净室必须同时对生产环境中的微粒和微生物加以控制。(SDA)颁布?规范?附录中提出的***生产洁净室的空气洁净度级别就体现了这方面的要求,同时也反映出***生产企业洁净室不同于其 他工业洁净厂的特点。