当用富氧气体发生臭氧时，一般是实行尾气循环回到臭氧发生器，这项技术是以氧的经济回用为基础的。此法曾在巴黎市圣·莫尔水厂试验过。要成功应用，尾气必须或者被加压或者被吸引通过臭氧生产系统的空气处理装置， 然而，循环气体内氨气和二氧化碳气含量的逐步富集是此法固有的问题，虽然只是使用空气时如此。所以，为防止臭氧产量下降，排放废气和补充新鲜气体是必要的。
尾气净化器的介绍
目前市面上的挖掘机尾气净化器五花八门，有二三千元的，也有二三万元的，为什么价格差距就这么大呢？这还得从尾气净化器的原理开始说起。氮氧化物和烟1尘颗粒是柴油机尾气排放中主要***物质。氮氧化物主要利用选择性催化还原技术和氮氧化物储存还原技术去除。而DPF（柴油颗粒过滤器）是目前用来降低柴油机烟1尘颗粒排放有效的设备。
尾气处理器的介绍
SCR：Selective Catalytic Reduction 选择性催化还原，蜂窝载体结构 SCR技术本身并不是新技术，在发电厂里早有应用。在发电厂中NH3是以氨水的形式引入和保存的。而在移动的车辆上使用氨水有一定的难度，因此SCR系统一般是选择尿素水溶液作为还原剂，尿素水溶液喷射到催化剂逆流方向的排气管中。 首先在废气温度大于200℃条件下，和气流作用下气化分解为CO2和氨水。
