催化燃烧与直接燃烧净化法一样，均属于热力***法，其机理都是氧化和热裂解、热分解废气中的有机成分，分解为二氧化碳和水。
但对处理高浓度的有机废气，通常认为催化分解是较为理想的方法。其原因是催化燃烧的温度要比热焚烧的温度低得多，而且效率高、能耗低、压降小、所需设备体积小，避免产生氮氧化物。
催化燃烧是使用不同种类的催化剂，利用其可以降低反应活化能的原理，使VOCs在温度比较低的情况下，将其完全氧化为CO2和H2O，一般当温度控制在300℃~450℃的范围内，大部分碳氢化合物可在被其氧化，并且去除率高达98%以上。
以RCO处理室温20℃的废气为例，为避免催化氧化处理后排放气“白烟”和冷凝湿气对设备的腐蚀等情况，排放气温度一般取＞105℃，再考虑到换热效率则常温废气进出装置后的实际温升应＞100℃。
如果催化燃烧起始温度为250℃，那么废气催化氧化后的温度为350℃，则对应废气初始浓度约为3130mg/m3时可维持系统热量平衡而不用额外能源。
长期在低温下运行，催化剂性能越来越低，催化燃烧设备处理效果不断下降。
还有一种情况是RCO催化燃烧设备的热交换器漏气，催化剂床层有气体短路，都会使得催化燃烧设备处理效果下降。
因此影响催化燃烧设备处理效果的因素很多，很复杂，并不是单一催化剂的问题。催化剂非常重要，还必须有设计制作合理的催化燃烧设备。
VOCs已经作为一种污染物开始进行系统的防治，国内外对VOCs的治理技术也开展了大量的研究和实践。VOCs的治理技术多种多样，在应用中应该根据工厂的实际情况做出合理的选择。***认为，催化燃烧技术因起燃温度低、适用范围广、没有二次污染等特点成为有应用前景的VOCs处理技术之一。
