




在芯片制造领域,光刻机和蚀刻机一直是芯片制造领域的关键。在业界有个形象的比喻,光刻机是芯片制造的魂,蚀刻机是芯片制造的魄,如果要想制造的芯片,这两个东西都必须。
而在光刻机方面,与世界的7nm制程都相去甚远。不管三星、英特尔还是台积电在芯片制程工艺方面如何去竞争,但A***L终究是背后霸主,赢家,因为他们谁都离不开他的EUV光刻机。而国产光刻机还在路上,目前我国已经能够使用365纳米波长的光生产22纳米工艺的芯片,这在全世界尚无先例,它也被称为世界上首台分辨力的紫外超分辨光刻装备。这也意味着国产光刻机可以使用低成本光源,实现了更高分辨力的光刻。


光刻机的工作原理是在硅片上涂上一层均匀的光刻胶,这种胶状物,只能被光腐蚀,而不能被化学物质腐蚀,然后利用紫外线照在上面,其中还包含了编码,用光把不需要的地方腐蚀掉,用光刻技术制作出自己需要的图形。蚀刻机被用来在光刻机“复印”到晶圆的电路轮廓上进行雕刻,蚀刻出“山地和沟壑”,形成栅极,也就是常说的晶体管。便于大家理解,简单来说,光刻机是在一块木头上作了一幅画,而蚀刻机就是根据光刻机的画雕刻出3D的作品。但实际上过程并不是我们形容的那么简单。目前我国中微半导体在蚀刻机方面也是取得了重大成果。


可以采用满版印刷、刷涂、滚涂或喷涂的方式,对油墨涂层的均一性要求不是很高,只要能保证涂层能够在蚀刻时对产品需保护部位得到充分的保护。
此工序和制作网板中的涂布工序差不多,只是制作网板是在网砂上涂感光油墨,而金属蚀刻是直接在工件表面涂布
热风预烘干(30-40℃,10-15分)
目的只是防止***时感光油墨粘住菲霖。要在暗室中进行操作。
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高压灯、碘灯、金属卤素灯。
时间:二十秒左右,抽真空;根据工件的精度要求适当调整***时间。精度要求越高,***时间要适当缩短
显影
对于水光油墨,可采用1%碳酸钠水溶液或直接用清水,温度25-30℃,手工显影或喷射显影。
对于油光油墨,可采用进行手工显影或喷射显影。