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分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，沈阳真空设备厂，使之获得定向速度，沈阳真空设备生产厂，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 这种泵具体可分为：

牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

不论是用***还是其他溶剂清洗的真空泵件，一定要等到***或溶剂彻底挥发了才能进行装配。真空泵油若与其他的油或溶剂或水混合会***其性能，影响真空泵的性能指标。胶圈要擦干净，沈阳真空设备生产厂家，仔细检查有无缺陷和裂纹，尺寸是否正确，尺寸不对将影响密封。凡是有加热位置的胶圈，每次拆卸清洗时必须换，比如油增压泵各个接口，装配时泵件同样需要轻拿轻放;紧螺丝时用力要均，沈阳真空设备，要从对角紧起。

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止造成污染，适合用干式真空泵；

用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。