目的在于减反射 钝化，PECVD即等离子体增强化学气相淀积设备，制作减少硅片表面反射的SiN 薄膜（～80nm）；SiN 薄膜中含有大量的氢离子，氢离子注入到硅片中，达到表面钝化和体钝化的目的，有效降低了载流子的复合，提高了电池的短路电流和开路电压。硅1烷与氨气反应生成SiN 淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。
光伏组件方阵在太阳能光伏发电系统中重要的是太阳能电池，它是收集太阳光的核心组件。大量的太阳能电池组合在一起构成光伏组件方阵。太阳能电池主要分为晶体硅电池（包括单晶硅Monoc-Si、多晶硅Multi-Si、带状硅凡)、非晶硅电池(a-Si)、非硅电池（包括硒化铜钠CIS、啼化锅CdTe)。出于技术和材料的原因，单一太阳能电池的发电量是十分有限的。
组件逆变器组件逆变器是将每个光伏组件与一个逆变器相连，同时每个组件有一个单独的***1大功率蜂值跟踪，使组件与逆变器的配合更好。通常用于50-400W的光伏发电站，总效率低于组串逆变器。由于是在交流处并联，所以增加了逆变器交流侧接线的复杂性，使维护困难。另外，需要解决的是怎样更有效地与电网并网，简单的办法是直接通过普通的交流电插座进行并网，这样可以减少成本和设备的安装，但各地的电网的安全标准不允许这样做，电力公司禁止将发电装置直接和普通家庭用户的普通插座相连。
