







蒸发真空镀膜机的原理及性能,你了解多少?
蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等片置于坩埚前方。通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。电气设备包括测量真空和膜层厚度及控制台等。因此,排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证快速的工作循环,也要求确保在蒸气镀膜时迅速排除从蒸发源和工作物表面所产生的气体。为了提高抽气速率,可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。蒸发式真空镀膜机常用蒸发源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。真空室是放置镀件、进行镀膜的场所,直径一般为400~700mm,高400~800mm,用不锈钢制作,有水冷却装置。待系统抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发系统包括蒸发源和加热蒸发源的电气设备。
机械/涂层镀膜设备
将性能发挥限:F1、Nascar、MotoGP、WRC、OSS赛艇等,在这些运动中,每一盎司的重量都经过精打细算。轻型现代材料的利用具有限制性,同时还减少摩擦损失。机械/涂层真空镀膜机满足上述要求。
摩擦和磨损:内燃机内部的摩擦造成大约百分之十的能效损失。主要的摩擦点来自活塞总成、气门结构和曲轴。由于齿轮需要大量的润滑油以备润滑,也会造成效率损失。
在零件表面使用HC涂层,从而增加负荷密度,降低润滑需求。钛等容易磨振和磨损的材料能够应用在上还是归功于涂层和表面处理,涂层和表面处理能够降低摩擦系数,提高硬度,同时还能保持基体材料本身的核心性能。
工程:至成镀膜机厂家真空工程师从零件设计开始就与客户合作,以满足每一客户的特定需求。
不仅仅只是涂层:为达到良好性能,爱恩邦德采用了大量专门研发的涂层表面预/后处理技术,与涂层相结合,能够发挥涂层的优势性能。
镀膜设备类型:
—空气:(1)进口和出口区配备动态锁定辊系统,确保带材不间断运动(2)带材缓冲器、连接和分离装置以及放置于镀膜机前、后端大气中的放卷机和收卷机,以保证连续生产(3)生产周期仅受限于靶材/真空腔体内蒸发物储存量
—分批式:(1)真空工艺区入口和出口处连接的卷轴装载锁定腔体,使用带材阀隔开(2)可在不中断工艺真空的前提下装载和卸载卷轴(3)生产周期为1卷轴的时间,然后停止,进行卷轴更换;带材废料长度约为工艺部分的两倍(4)电子束工艺配备额外的档板,用以补偿卷轴更换
镀膜模式:单面镀膜:(1)所有镀膜工具均位于带材的一侧(2)使用电子束(EB)工艺时,(一般情况下)带材的底侧将被镀膜双面镀膜:(1)镀膜工具均位于带材的一侧,卷材改变走带方向(2)需要二次镀膜与传动装置配备
非接触式镀膜选项针对敏感的光学镀膜,提供非接触式机器概念。