




净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean
Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。考虑到室内相对湿度过高易长霉菌,不利于洁净环境的维持,过低易产生静电,使***感觉不适。
洁净隧道另有二项优点:
A.弹性扩充容易;
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
净化工程解决方案:在加湿问题上还有一个应注意的问题就是空调器内空气流动带水的问题。有的工程中由于加湿的带水问题没有处理好,结果后面的中效过滤器甚至高1效过滤器都被携带的水打湿了。对于干蒸汽加湿器也要注意蒸汽管和凝结水管的坡度和坡向问题,要使凝结水迅速地排到空调器外。5、可吸入颗粒物、***异味等危害物质,迅速提升无尘车间室内环境的空气质量,保证我们的身心健康。若加湿器设在空调器的风机段内,还应采取措施避免凝结水滴到电机上,造成电机短路断电。
光学微电子净化工程解决方案:
1、组合式空气处理机组 冷水机组 高1效送风口
这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
优点:A.空气处理效果好,因空气经过集中处理,在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精准;
B.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;
C.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或***冷热源;
D.维修频率较低;E.车间的噪音低。