{洁净室检测}
净室的空气品质：
影响洁净室内的空气品质的因素很多。如：洁净室内的新鲜空气量的大小；室内含氧量的多少；室内的负离子数量；室内装修安装等材料和生产过程产生的低浓度分子级的化学污染物的情况以及生产过程中散发的酸、碱、有机等废气都会影响洁净室内的空气品质。
1、洁净室内的新鲜空气量
《洁净厂房设计规范》50073-2001中规定“保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。”
新鲜空气量太小不利于洁净室内作业人员的健康，若新鲜空气量太大，运行能耗太大，运行费用太高不经济。但小不低于40m3 /人·h。
滤器是洁净室的主要净化设备，是空气净化的主要手段。因此了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。
过滤器的分类：
按过滤器的性能（效率、阻力、容尘量）来划分，通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚***、***（HEPA）和超***（ULPA）六类过滤器。
过滤器的使用和更换：
粗效过滤器是作为预过滤器使用，一般是设置在空调箱内，其作用是过滤大颗粒的粒子，以保护其后的空调设备（如表冷器和加热器等）和中效以及更高过滤器。一般粗效过滤器不能作为终端过滤器。它除去的是≥5.0?m的粒子
中效过滤器一般设在空调箱的正压段，其作用是保护亚***、***过滤器等终端过滤器。它除去的是≥1.0?m的中小粒子。一般情况下，中效过滤器是中间过滤器，不能做预过滤器用，也不能做终端过滤器。
洁净室检测
三、无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的***净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。静态at-rest设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。
四，无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
