瑞士威尔(Well)公司开发生产从3000-9000系列金刚石线锯机,包括往复式线锯机和环形线锯机。威尔环形线锯机相对往复式线锯机,线速度有了较大的提高,但还没有达到高速切割。当切割的材料易于切割时不需要很大的摩擦力便能将材料切削,因此一般选用小线径小颗粒的金刚石线。此公司新开发的号称高速切割机,线速度也仅达20m/sec,且环线周长较短,长度2.2米--2.4米,影响线切割寿命。
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线切割设备
切割液
金刚线切割设备使用的切割液主要作用是冷却,所以主要采取冷却水或油基冷却。使用水做切割液可以混合部分粘合剂,减轻清洗工序工作强度;另一个作用是切损硅料容易回收。线切割设备多采用电镀金刚石线,国内的线切割设备生产厂家众多,生产能力强,已经可以满足各领域的切割需求。油基冷却主要是乙二醇做切割液,原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收,但是需要相对复杂的化学方法处理,提高了回收成本。
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?精密切割
精密切割加工是制备半导体和光电晶体基片的主要加工工艺之一,在微电子、光电子器件的制造过程中占有很高的地位。而随着微电子和光电子技术飞速发展,对半导体和光电晶体的切割加工提出更高要求。在国际上,游离磨料线锯切割在单晶硅、多晶硅的切割中占主流地位,但是这种技术存在明显的不足。***率、低成本、高精度、窄切缝、小翘曲变形、低表面损伤、低碎片率、无环境污染等是目前半导体和光电晶体的切割加工的新趋势。