氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
一般来说，下列一些缘故会导致温度转变，从而对测试造成危害：排气管带去温度普遍现象:测试进行后产品內部的汽体被排出来时候带去产品及密封性工作服上的一部分温度。假如立刻相同一件产品开展二次测试，就会出現产品內部汽体温度先被减少后稳压管时上升回应的情况，这会造成测试环节波导管內部工作压力有细微的升高情况，会相抵一部分原来的***量。危害：相同一件产品做重复性测试时，会出現测试結果一次比一次缩小的现象，假如数次精l确测量正中间间隔时间不彻底一样还会出現测试結果不断的现象，危害测试的可靠性。解决方案：相同一件产品做重复性测试时，2次测试中间必须间距充足的時间令其产品回应一切正常的测试情况，每一次测试的间隔时间l好一致。在对机器设备做重复性测试时，可采用好几个产品循环系统测试的方法开展。针对一些指标值较为小，重复性较为高的产品而言，在设计方案工作服时可考虑到应用强制环氧树脂类原材料做为立即触碰的密封性工装夹具防止应用传热性不错的金属复合材料。
概述
气密性检测仪采用国外l新微电脑芯片、高精度传感器及零泄漏电磁阀，以保证检测结 果准确性及仪器经久耐用。微电脑自动控制检测过程和采集数据，采用l新算法及 专门的软件对数据进行分析处理，l大程度地补偿了检测过程中的温度（包括环境 温度）等影响。克服了外界干扰，实现了直接压力差测漏，检测结果直观，具有很高 的性能价格比，是众多气密检测的理想设备。
