真空泵维修抽不到真空泵的极限真空度
长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足,，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀门。
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真空泵维修损坏原因分析
泵在运转中，若其过流部分的局部区域（通常体的极限压力降低到当时温度下的液体汽化压力时，液体便在该处开始汽化，产生大量蒸汽，形成气泡，当含有大量气泡的液体向前经叶轮内的高压区时，气泡周围的高压液体致使气泡急剧地缩小以至***。
在气泡凝结***的同时，液体质点以很高的速度填充空穴，在此瞬间产生很强烈的水击作用，并以很高的冲击频率打击金属表面，冲击应力可达几百至几千个大气压，冲击频率可达每秒几万次。气蚀可***金属表面的保护膜，使腐蚀速度加快；金属表面在这种冲击力的多次反复作用下，金属发生疲劳脱落，使表面出现小凹坑，进而发展成海绵状，严重时会将壁厚击穿。
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真空泵维修真空泵返油怎么办？
双级旋片式真空泵是一种油封式真空泵，为了能在停泵时防止真空泵油返到被抽容器，内置停泵防返油装置就十分重要。
防止停泵返油通常靠气路和油路的结合来实现，常用的方法有：
1、在进气通道上设置停泵防返油装置
2、在油路上设有停泵控制防返油装置
3、以上两种结合
离心开关控制，利用大气和被抽腔室的压差控制防返阀的工作。
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