电子束蒸发镀膜机产品介绍
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产品配置：
★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）
★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体：高真空系统。
★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋转，转速可调
★加热：常规加热
★电子枪：E型，带XY偏转扫描
★电子枪坩埚：6穴，17cc
★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制
★清洗功能：可选配离子源清洗
★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤
★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪
★操作模式：全自动 半自动控制
电子束蒸发镀膜机技术特点介绍
采用了超高真空密封技术，极限真空度高，蒸发室可进入10-5Pa量级（≤5×10-5Pa电子枪静止状态），可保证更高的镀膜纯净度，提高镀膜质量。
超高真空密封主要采用如下技术：玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等，整机主要采用金属密封技术，前开门用氟胶圈，真空管路用不锈钢金属波纹管路（不用橡胶管路），采用高真空阀门。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司以诚信为首 ,服务至上为宗旨。公司生产、销售电子束产品,公司拥有强大的销售团队和经营理念。想要了解更多信息，赶快拨打图片上的***电话！
