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气体质量流量控制器如何选择密封材料

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。

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使用质量流量控制器注意事项

使用质量流量控制器有四怕:

怕粉尘， 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器， 造成测量误差， 要求在进气口前加装过滤器;

第二怕液体和油污进入MFC， 会造成失控， 如果MFC的出口接有液体罐， 需要在MFC出口加上单向阀， 防止液体回流;

第三怕使用潮湿的腐蚀性气体， 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈， 造成MFC通道损坏， 因此要求在使用腐蚀性气体前， 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;

第四怕在使用强腐蚀性、***等危害性气体时不按安全规则操作， 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。

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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，江西流体系统控制单元， 在工作的过程当中，流体系统控制单元报价， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，流体系统控制单元价格， 并且要求气压要相对稳定。

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