第1种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。
好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本很低，洁净度安全性很高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室***和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。
洁净工作台可以在操作台上形成无菌、无尘的局部净化空间，其主要部件有预过滤器、***过滤器、风机机组、静压箱、外壳、台面和配套的电器元器件等。洁净工作台有足够的送风量，选择合适的气流流形和可靠的过滤装置，确保所需的空气洁净度等级；有排风装置时，应选用必要的排风处理装置或技术措施，达到不污染室内外环境的排放要求；噪声低、振动小、满足相关标准、规范的要求；操作面光滑、平整、无凹凸、防止积尘；工作台内操作面上的气流分布应均匀、可调；工作台的工作和空气洁净度以及其他特殊要求等宜采用自动控制，至少应装设必要的显示仪表显示工作台的工作状态；工作台内的过滤器应拆装方便。
