CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速***、低等离子体轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。核心部件采用国际***品牌，保证设备优异的质量和稳定性。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。
产品特点
- 双等离子清洗源
- 远程清洗、检漏两用
- 快速***
- 即插即用
技术参数
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产品型号 |
CIF-TEM |
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真空泵 |
Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵 |
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***大入口压力1.0个大气压（0psig），***大出口压力1.4个大气压（6.5psig） |
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***高抽速60L/min，极限真空3.3 x 10-1 mbar |
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KF16入口接口 |
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等离子电源 |
两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子源，自动匹配器 |
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13.56MHz等离子RF电源，5-100W可调 |
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清洗室 |
清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm |
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***多可放置3路TEM hoder，可清洗FEI、JOEL等TEM品牌样品杆 |
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气体控制 |
美国MKS数字真空计 |
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两路清洗气体控制，可以外接如Ar或O2等清洗气体 |
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控制方式 |
7寸全彩触摸屏操控方式，人机互动界面 |
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冷却方式 |
风冷 |
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电源 |
电源220V、50/60Hz |
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质量保证 |
二年免费，终身维护 |