净化设备,无锡谷能净化科技,微电子净化设备

（1）每台净化机组均配置一套两通调节阀，一套温、湿度探头，该两通调节阀设置于机组回水总管上，温、湿度探头设置于***室回风总管上，温、湿度探头采集到信号后传递给DDC，DDC再通过所设定的温度来控制两通调节阀的开启度。

（2）DDC实行湿度优先控制，在夏季工况下：新风表冷器***行一次降温除湿，新、回风混合后在空气处理机组上进行二次降温除湿，直到湿度满足DDC设定的标准，这时DDC再通过辅助电加热器工作来达到设定的温、湿度。冬季工况下，由湿膜加湿器对空气进行加湿，使湿度满足要求。

***室装修

（3）辅助电加热器的开关程序通过DDC来控制，当风管内的空气温度小于所设定的温度时电加热自动打开，反之则关闭，电加热器本身还带有过热保护装置，当其温度超过90度时，电加热器自动关闭。

（4）新风净化机组与空气净化机组实现连锁控制，微电子净化设备，即系统内只要有一台空气净化机组打开，其对应的新风净化机组必须先打开，只有当共用该新风系统的空气净化机组全部关闭时，所属新风净化机组才能关闭。

（5）排风机与空气净化机组实现连锁控制，即空气净化机组打开，其对应的排风机就开始工作，只有当共用该排风系统的空气净化机组将全部关闭时，所属排风机才能先关闭。为了保证***室的正压，建议甲方在非***室时段将新风机及排风机开启。

FFU具有的特点：

第yi，净化设备，灵活性：因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制，在一个偌大的无尘厂房里可根据要求，分区控制，而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应的调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次***。

第二，可再利用性，从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，光学净化设备，留待下次使用。

第三，负压通风，这是FFU的独特特点，由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于无尘厂房负压，这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区内，使得密封变得很简单而且安全。

第四，缩短建设周期，使用FFU省掉了风箱的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个***者都希望***能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。

第五，减少运行成本，虽然在选用FFU时，初期***要比使用风管通风高，但在它后期运行中，突出的表现出节能，免维护等特点，用大循环减少40%的运行成本。

在一定空间范围内，医药净化设备，将空气中的微粒子、***空气、细1菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。 在一定空间范围内，将空气中的微粒子、***空气、细1菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。