CIF匀胶机转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学，硅片、载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。
产品特点
- 采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶均匀。
- 5寸全彩触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配10个匀胶梯度阶段（速度和时间梯度设置），可选配10个可编程程序，每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段，***多100个阶段。
- 内置水平校准装置，***大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。
- 多重安全保护
- 电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；
- 盖子自锁功能，防止飞片盖***开伤人；
- 双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，***大限度保证实验人员安全。
- 一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂模式。
- 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，PTFE旋涂腔体，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盘，PTFE嵌镶钢化玻璃上盖，耐酸碱防腐蚀，保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
- 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。
技术参数
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型号 |
转速（转/分） |
转速稳定度 |
匀胶时间 |
旋涂基片尺寸mm |
外型尺寸（LxWxH）mm |
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SC1 |
50-10000 |
&plu***n;1％ |
0-2000S |
圆片Φ5-Φ100,方片***大100x100 |
310x260x250 |