多源有机无机蒸发?系统单室有机无机热蒸发镀膜机价格
多源有机无机蒸发系统
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主要用途：
用于纳米级单层及多层金属膜、 半导体膜等新材料的制备。广泛应用 于大专院校的薄膜材料科研。
系统组成:
由真空室、蒸发源、样品台、 真空测量、膜厚测试、电控系统组成。
技术指标：
极限真空度5.0×10-5Pa，系统漏率：1×10-7PaL/S； ***真空时间：40分钟可达6.6×10 Pa
真空室：D形真空室，尺寸350× 380mm
样品台：尺寸为4英寸厚度3mm的平面样品；
电极：数量：4支水冷结构；直径Φ20㎜
样品基片:，基片在镀膜位置实现自转。基片的温度从室温至600℃
4套挡板系统：基片挡板与源挡板；靶挡板共有3套， 样品挡板（１套）
石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统。
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有机热蒸发镀膜机介绍
1. 真空室的极限真空度达5*10-5pa，漏率为关机12小时≤5pa
2. 真空腔内配有集约样品台一套，配有大挡板和16套小挡板，手动
控制，开关方便快捷，每个小挡板挡两块30*30mm样片
3. 蒸发源共14套，其中10套有机蒸发源，4套金属蒸发源。控温
精度±1℃，可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能
4. 金属蒸发源配4台一带一1000W可控硅调压电源，通过铜电极
连接，两端可夹钨绞丝或者钽舟，钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒
材料，钽舟可以蒸镀粉末状材料，蒸发源采用陶瓷全密封，避免交
叉污染
5. 有机蒸发源配10台一带一温控电源，有机源温度为室温-500度，
可以根据材料及用户需求自行调节
6. 样品台具有旋转、升降功能，可在线更换掩膜板一次，可同时装
载30mm*30mm样品16块。本产品每两个样品都配有小挡板，
并且通过PLC控制步进电机对每个小挡板做16个***，使机械手
推拉小挡板，样品与蒸发源之间的间距为200-300mm
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派瑞林简介
派瑞林是一种新型敷形涂层材料，它是一种聚合物，根据分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。
派瑞林涂层材料优势：派瑞林用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。派瑞林镀膜加工的优势：可以抗酸碱腐蚀，可以抗溶解（在普通的溶剂中不会被溶解）；抗冻性能强（低至200℃）；具有无法比拟的屏障效果（低气体渗透性）；可靠性强，具有极高的绝缘强度；采用Parylene进行涂层，可得到均匀一致，透明且极薄的膜层；能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边、裂缝；经济清洁、工序简单、速度快、批量处理能力强。
