9.7洁净度级别要求≥0.5μm微粒数和≥5μm微粒数的以下两项均达标：
测量中含尘浓度***. 一点达标； 含尘浓度的室平均统计值达标。 达标的级数可计算到小数点后1位。
静态检测达标的即为静态达标，动态检测达标的即为动态达标。 ?【检查方法】查看报告。
?【结果处理】如果≥5μm微粒有些超标，应作为缺陷，在重新严格清洁后抽检。微粒数宜不大于级别浓度的中间，如超过一半并接近上限，简易无尘室，应对送风过滤器检漏，百级无尘室，并加强动态检测。
?【参考】粒子计数器***少采样点数的确定应符合以下两方法中的一种，每点至少取数据相近的连续3次读数的平均值。
a. ***少采样点数?洁净室迎风截面积或单向流区的通风截面积
无尘车间洁净室监测与维护
10.1
无尘车间洁净室（区）应有对洁净室（区）性能的动态监测和静态年检的计划，嘉善无尘室，动
态监测由使用方质检部门执行，
应有布置方案、
测试记录和签名。
静态年检应由
第三方执行。
?【检查方法】查看文件、记录。
10.2
无尘车间洁净室动态监测项目为：静压差
沉降菌或浮游菌菌落数
应在一段时间内固定一定监测位置。
无尘室净化间监测与维护
10.1
无尘室（区）应有对洁净室（区）性能的动态监测和静态年检的计划，动
态监测由使用方质检部门执行，
应有布置方案、
测试记录和签名。
静态年检应由
第三方执行。
?【检查方法】查看无尘室净化室文件、记录。
10.2
洁净室工程的动态监测项目为：
静压差
沉降菌或浮游菌菌落数
应在一段时间内固定一定监测位置。
5送风系统
5.1 风管应为金属材料制作，咬口缝均应胶封。 ?【检查方法】外观检查。
?【结果处理】不符合要求但尚未影响到某些参数，可先不更换。 5.2风管应有足够内径，控制风速在以下范围：
总管 7～9m/s
无风口支管或干管 5～7m/s 有风口支管或干管 3～5m/s ?【检查方法】根据风量估算。
?【结果处理】未影响到噪声，千级无尘室，可不改动，否则应适当减小风速，但又要不影响换气次数。
5.3风管法兰之间均应有密封垫，密封垫材料宜为闭孔海绵橡胶，严禁采用橡胶、乳胶海绵、聚乙烯、厚纸板等含开孔孔隙和易产尘、易老化的材料。厚度不应小于5mm。密封垫上不得有涂料。
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